羅茨真空泵是一種容積式真空泵，具有啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高的性能特點，在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得以應用，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空係統主抽泵相接。並且因其使用特點常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來提高中間壓力範圍的抽氣量。

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